Tsis ntev los no, ntawm SEMICON Taiwan 2026 IC Forum, lub ntiaj teb lithography loj loj ASML tau muab cov ncauj lus qhia ntxaws txog cov ntaub ntawv tseem ceeb tshiab thiab kev ua haujlwm thev naus laus zis ntawm nws High-NA EUV (High Numerical Aperture Extreme Ultraviolet) lithography tshuab thaum lawv nce mus rau siab - ntim tsim khoom (HVM).
Hais txog kev tsim khoom thiab xa khoom, ASML tshaj tawm tias plaub tus neeg siv khoom thoob ntiaj teb tau ua tiav kev teeb tsa, nrog rau tag nrho ntawm 10 High-NA EUV systems tam sim no ua haujlwm tiav. Ib qho ntxiv peb lub tshuab tam sim no nyob rau hauv kev thauj khoom thiab kev teeb tsa. Txog rau tam sim no, cov tshuab no tau nthuav tawm ntau dua 1.35 lab wafers, cim cov thev naus laus zis hloov pauv los ntawm kev sim ua kom tiav rau tag nrho - daim ntawv thov kev lag luam. Tshwj xeeb tshaj yog, Intel tau ua tus thawj coj los ntawm kev siv cov thev naus laus zis no los ua ntau yam - tsim qee cov Core Ultra Series 3 processors (codenamed Panther Lake) ntawm nws Intel 18A txheej txheem ntawm node, dhau los ua thawj lub tuam txhab thoob ntiaj teb kom ua tiav siab - ntim khoom xa khoom ntawm logic chips siv High-NA EUV.
Hais txog cov cuab yeej ua tau zoo thiab kev ruaj ntseg, thawj - tiam huab hwm coj- qauv tsim, EXE: 5200B, tau ua tiav ntawm 135 wafers ib teev (WPH) thaum lub sij hawm lees paub, ua tau raws li HVM cov qauv. Lub caij no, lub ntiaj teb cov nkoj muaj peev xwm tau nce mus rau 84%. ASML cov haujlwm no tus nqi yuav ncav cuag 90% thaum kawg ntawm 2026, nrog rau lub sijhawm ntev - lub hom phiaj ntawm 93%. Los ntawm kev siv cov kev paub txog kev saib xyuas los ntawm nws cov NXE platform uas twb muaj lawm, ASML tau ua kom ntseeg tau tias kev sib tshooj thiab kev ua haujlwm ntawm cov tshuab ua tau raws li cov khoom siv nruj heev - yuav tsum tau ua.
Hais txog cov txiaj ntsig zoo thiab cov phiaj xwm yav tom ntej, piv rau yav dhau los 0.33 NA EUV systems, 0.55 NA High-NA EUV muaj kev daws teeb meem zoo dua. Nws tso cai rau ib leeg - qauv los hloov cov txheej txheem ntau- qauv, ncaj qha txo qis tus nqi, lub sij hawm ntau lawm, thiab tag nrho cov nqi rau cov nodes siab heev. Tsis tas li ntawd, thev naus laus zis no qhib qhov chaw tsim qauv tshiab rau 2D nti layouts, uas yuav txo tau tag nrho cov hlau sib txuas. Saib ua ntej, ASML tau tsim kom muaj kev ruaj ntseg thev naus laus zis txoj hauv kev hla dhau ib xyoo caum. Los ntawm kev nce EUV lub teeb lub zog (los ntawm 600W mus rau 1000W) thiab ua kom zoo dua lwm cov txheej txheem kev siv tshuab, lub tuam txhab lub hom phiaj los txhawb cov khoom siv mus txog 180 WPH thaum kawg ntawm lub xyoo caum no, txuas ntxiv muab kev txhawb nqa tseem ceeb rau kev tsim khoom semiconductor los ntawm 2nm node rau hauv Angstrom era.
